미국의 대중국 반도체 수출 규제·대러시아 제재와 관련 있는 것으로 알려져 삼성전자와 SK하이닉스가 미국의 대중국 수출 통제, 대러 서방제재를 고려해 노후 반도체 장비의 판매를 중단했다고 영국 일간 파이낸셜타임스(FT)가 11일(현지시간) 보도했다. 이러한 보도는 조 바이든 미 행정부가 한국 등 동맹국을 상대로 대중 반도체 기술 수출 통제를 압박하고 있다는 소식이 최근 전해진 가운데 나온 것이다. FT는 복수의 소식통을 인용해 두 반도체 업체의 이번 조치가 미국의 대중국 반도체 수출 규제·대러시아 제재와 관련이 있으며, 미국의 반발에 대한 우려에 따른 것이라고 전했다. 업계 관계자 등에 따르면, 삼성전자와 SK하이닉스는 중고 반도체 기계를 시장에 내놓는 대신 창고에 보관하고 있다는 것이다. 이들 반도체 업체와 가까운 한 소식통은 FT에 "우리는 해당 장비가 잘못된 사람의 손에 들어가 미국 정부와의 관계에 문제를 일으킬까봐 걱정된다"고 말했다. FT는 미국 정부가 대중국 반도체 수출 규제를 시행한 이후인 지난 2022년부터 삼성전자와 SK하이닉스가 중고 반도체 기계를 보관하기 시작했다고 전했다. 한국에 기반을 둔 한 중고 거래 업자는 "일부 중국 구매자들이 장비
상당 규모의 콜로이드 실리카 수입 대체 효과 창출할 것으로 기대돼 한국이콜랩이 7일인 오늘 경상남도 양산시 어곡동 양산공장 부지에서 반도체용 고순도 콜로이드 실리카 제조 공장을 조성하는 기공식을 개최했다고 밝혔다. 이로써 이콜랩은 국내에서 고순도 콜로이드 실리카를 생산할 수 있게 된다. 5일 열린 기공식에는 김병규 경상남도 경제부지사, 나동연 양산시장, 박병대 양산상공회의소 회장, 서영옥 어곡관리공단 이사장, 강만구 경남투자청장 등이 참석했다. 이콜랩 측에서는 조슈아 매그너슨 글로벌 이콜랩 수석부회장, 안소니 윌리엄 글로벌 이콜랩 수석부사장, 류양권 한국이콜랩 대표 등이 자리했다. 신규 공장은 약 5400m2 규모로, 반도체 제조용 연마제인 ‘CMP 슬러리’를 생산하는 데 필수적인 고순도 콜로이드 실리카를 생산한다. 이콜랩의 콜로이드 실리카 제조 기술에는 상업화를 시작한 이래 70여 년의 경험과 노하우가 집약돼 있다. 이로써 상당 규모의 콜로이드 실리카 수입 대체 효과를 창출하고, 반도체 소재 공급망 안정화에 기여하며, 향후 5년간 665명의 고용 유발 효과를 가져올 것으로 기대된다. 공장은 2025년 7월 제품 생산을 시작한다. 한국이콜랩 류양권 대표는 기
이상원 대표 "계속적인 투자로 한국 반도체 생태계에 활성화에 노력할 것" 램리서치코리아가 용인 램리서치 코리아테크놀로지 센터 첫 장비 반입 2주년을 기념해 K-반도체 벨트 내에 위치한 캠퍼스 투어를 실시했다. 램리서치코리아는 2022년 4월 용인 지곡동에 3만 m2 규모의 R&D 시설을 공식 개관했다. 그보다 반년 앞선 2021년 11월 공사 중인 시설에 식각 공정 반도체 장비 Sense.i를 첫 번째 장비로 반입했다. 램리서치는 제조 공장을 포함해서 물류센터, 마케팅 및 세일즈 오피스, 고객지원센터, 트레이닝 센터 및 R&D 센터까지 모든 주요 사업부문을 K-반도체 벨트 내에서 운영하는 최초의 글로벌 반도체 장비 업체다. 현재 용인 캠퍼스 내 사무동이 건설 중이며 내년 7월 완공 예정이다. 사무동이 완공되면 동탄에 위치한 테크니컬 트레이닝 센터와 판교에 위치한 한국 본사가 모두 용인 캠퍼스로 이전한다. 이처럼 램리서치가 한국에 비즈니스 기반을 강화하는 이유는 고객과의 긴밀한 협업을 통해 차세대 반도체 솔루션 개발을 가속화하는 것을 목표로 하는 글로벌 랩 전략의 일환이다. 고객사 지근거리에 연구시설을 갖추고 본사의 랩과 가상의 R&D 네
TSMC 1.4 나노 공정 증설 포기 관련 '반도체 중요의제 회의'서 결정 대만 정부가 TSMC의 최첨단 1.4nm 반도체 공정을 중부과학단지에 증설하기로 잠정 결정한 것으로 알려졌다. 29일 자유시보 등 대만언론은 소식통을 인용해 대만 행정원이 최근 북부 지역에 착공할 예정이던 TSMC의 1.4 나노 공정 증설 포기와 관련한 '반도체 중요의제 회의'에서 이같이 결정했다고 보도했다. 이어 대만 국가과학기술위원회(NSTC)가 내년 6월 해당 용지의 TSMC 인도를 목표로 하고 있다고 전했다. 한 정부 관계자는 당국이 TSMC의 최첨단 1.4 나노 반도체 공정을 중부 타이중의 중부과학단지에 건설하기로 사실상 낙점했다고 밝혔다. 그는 TSMC가 애초 북부 타오위안 룽탄 과학단지 3기 확장 건설 부지와 중부과학단지 타이중 단지 확장건설 2기 개발 부지에 각각 첨단 1.4 나노 반도체 공장 건설 계획이 있었다고 설명했다. 하지만 TSMC가 타오위안 룽탄 과학단지 3기 확장 건설 프로젝트 안을 포기함에 따라 차선책으로 중부과학단지를 선택한 것이라고 덧붙였다. 앞서 중부과학단지 관리국이 추진하는 중부과학단지 타이중 단지 확장건설 2기 개발계획은 지난 2월 환경영향평가를
연구 개발의 역량 제고와 당사의 경쟁력을 강화 위해 설립 원익아이피에스는 24일인 오늘 평택 본사에 연구2동 오픈을 기념해 준공식을 개최했다고 밝혔다. 원익아이피에스는 평택시 소재한 본사 사업장내에 지난해 7월 부터 약 10개월 동안 신규 연구동 설립 공사를 진행했다. 추가로 설립된 연구동는 연구2동이라 명명했으며 지난 22일 준공식을 진행했다. 준공식에서는 원익아이피에스 이현덕 대표이사와 박성기 사장, 안태혁 사장이 참석해 자리를 빛냈다. 연구2동은 반도체 장비 산업의 미래를 위해 지어진 창의적 연구공간으로 원익아이피에스의 비전 2030 달성을 위한 교두보의 역할과 연구 개발의 역량 제고와 당사의 경쟁력을 강화하고자 설립됐다. 현재 연구2동은 417평으로 해당 공간에는 고객과 연계해 신기술을 공동 개발할 수 있는 TEST BED/Virtual FAB 등의 공간이 구성돼 있다. 또한, 기존 연구동과 연결통로를 설계해 연구1동과 2동을 이어줌으로써 시너지 극대화를 꾀했다. 원익아이피에스 연구2동 담당자는 "환경과 미래를 위해 ESG 경영을 생각하며 효율적으로 운영을 기대하며, 모든 직원의 안전을 위해 체계화된 관리 규정과 규칙을 통해 혁신적이고 창의적인 연구활
"이종집적 기술을 사용한 2.5차원, 3차원 패키지의 경우 매년 14% 이상 성장할 것" 삼성전자 AVP(Advanced Package) 사업팀장 강문수 부사장이 첨단 패키지 기술로 반도체의 한계를 넘겠다는 구상을 밝혔다. 삼성전자는 차세대 반도체 패키지 기술 개발에 속도를 낼 방침이다. 강 부사장은 23일 삼성전자 뉴스룸에 올린 기고문에서 "스마트폰, 모바일 인터넷, AI, 빅데이터의 시대가 도래하면서 요구되는 컴퓨팅 성능은 빠르게 증가하고 있다"며 "하지만 반도체 기술의 진보와 혁신의 속도가 과거 대비 느려지고, 반도체 공정 미세화가 물리적 한계에 도달해 집적도의 증가 속도가 느려졌다"고 진단했다. 반도체 집적도가 24개월마다 두 배로 늘어난다는 '무어의 법칙'이 한계에 도달했다는 것이다. 강 부사장은 "이런 반도체 기술 한계를 극복하기 위해서는 무어의 법칙을 넘어설 새로운 방법이 필요하다"며 "우리는 이것을 '비욘드 무어'라고 부른다"고 설명했다. 이어 그는 "비욘드 무어 시대를 이끌 수 있는 것이 첨단 패키지 기술"이라고 소개했다. 반도체 생산은 크게 설계, 생산, 패키징 등으로 나뉘며, 패키징은 반도체를 탑재될 기기에 적합한 형태로 제작하는 공정이다
ALD 공정에 기여하는 밸브 제어 시스템 생산량을 극대화해야 하는 과제와 함께 최신 마이크로칩 생산에 필요한 공정은 점점 복잡해지고 정밀해지고 있습니다. 그렇기에 반도체 생산업체들은 보다 면밀한 공정 제어를 추구합니다. 반도체 생산 수율을 최적화하려면 원자층 증착(ALD)과 같은 생산 공정에서 성능 오차가 더 미세해야 합니다. 즉, 최적 생산성의 ALD 공정에는 정밀한 화학물질 투여 및 공급 시스템이 필수적입니다. 잘 설계된 밸브 제어 시스템이 이 공정에 기여할 수 있습니다. 반도체 석학들이 마주하고 극복했던 중요한 수수께끼가 기술의 지속적인 혁신에 전환점이 되었던 그 이유를 파헤쳐보겠습니다. 반도체 산업의 간략한 역사 반도체 산업은 1960년대 실리콘 밸리에서 시작됐습니다. 1990년대 후반에 이르러 과학계는 반도체 칩 하나당 트랜지스터 수가 2년마다 두 배가 될 것이라고 예측한 무어의 법칙이 곧 한계에 부딪힐 것으로 예상했습니다. 이는 소자에 사용되는 기존 유전체 층의 기술적 한계와 관련이 있으며, 업계는 SiO2를 대체할 유전체 재질이 곧 필요하게 될 것임을 알았습니다. 하지만 이미 SiO2는 증식이 편리하고 실리콘 웨이퍼상에서 탁월한 정밀도와 균일도를
스토캐스틱 효과를 실시간으로 측정, 감지 및 모니터링 프랙틸리아는 자사의 FAME(Fractilia Automated Measurement Environment, 프랙틸리아 자동화 측정 환경) 포트폴리오에 최신 제품인 FAME 300을 추가한다고 밝혔다. 대량 제조(이하 HVM) 팹 환경에서의 사용을 위해 특별히 설계된 FAME 300은 첨단 노드 공정에서 패터닝 오류의 주된 원인인 스토캐스틱 효과를 실시간으로 측정, 감지 및 모니터링한다. FAME 300을 사용할 경우, 팹에서 스토캐스틱 변이로 인해 발생하는 잠재적 공정 문제를 단 몇 분만에 파악할 수 있어, 신속한 수정 조치를 통해 자사의 패터닝 공정에 대한 제어를 개선하고 수율을 최적화할 수 있다. FAME 300은 프랙틸리아의 FILM(Fractilia Inverse Linescan Model) 특허 기술을 활용한다. 이 기술은 CD(Critical Dimension, 임계 선폭) 측정뿐 아니라 거칠기를 포함한 다양한 스토캐스틱 효과를 고도로 정확하고 정밀하게 측정할 수 있는 유일한 팹 솔루션이다. 프랙틸리아의 제품은 반도체 제조사, 장비 회사 및 반도체 원재료 공급사의 연구 개발 및 공정 개발 환경
"전기차, ADAS, 에너지 인프라 및 공장 자동화 메가트렌드에 맞춰 성장할 것" 온세미는 글로벌파운드리 300mm 이스트 피시킬(EFK)의 미국 뉴욕 부지 및 제조 시설 인수를 성공적으로 완료했다고 발표했다. 인수는 2022년 12월 31일부터 발효한다. 이번 거래로 온세미에 세계적 수준의 기술자와 엔지니어 1000여명 이상이 추가됐다. 지난 3년간 온세미는 EFK 시설과 직원들의 장기적인 미래 확보에 주력해왔으며, 300mm 수준의 높은 투자를 통해 회사의 전력, 아날로그 및 센싱 제품의 성장을 가속화하고 제조 비용 구조를 개선했다. EFK 팹은 미국 내 온세미의 최대 제조 시설이며, 회사의 제조 프로필에 이미지 센서 생산에 필요한 특수 처리 기능을 갖춘 40nm 및 65nm 기술 노드를 포함한 고급 CMOS 기능을 추가한다. 이번 거래에는 GF에 차별화된 반도체 솔루션을 공급하고, 두 회사가 미래 성장을 위해 협력해 연구 개발에 투자하겠다는 독점 약속이 포함돼 있다. Hassane El-Khoury 온세미 CEO는 “이번에 EFK가 당사 제조 시설에 추가되면서 온세미는 미국에서 유일한 12인치 파워 디스크리트 및 이미지 센서 팹을 갖게 돼 전기차, AD
불순물을 제거하는 탈기막 모듈 형태를 만들어내는 등 핵심 기술 개발 추진 SK에코플랜트가 반도체 공정에 필수적인 '초순수'(UPW·Ultra Pure Water) 핵심기술 국산화에 나서며 물 산업 포트폴리오를 확장한다. SK에코플랜트는 분리막 제조 전문기업 세프라텍과 초순수 핵심 기술 연구개발·투자 협약식을 체결했다고 7일 밝혔다. 이번 협약을 바탕으로, SK에코플랜트는 환경부가 추진하는 초순수 생산공정 국산화 기술개발 사업 중 탈기막 개발 과제에 참여한다. 초순수는 순도 100%에 가깝게 불순물을 극히 낮은 값으로 제거한 고도로 정제된 물이다. 반도체, 태양광 패널, 2차 전지, 액정표시장치(LCD) 등 나노미터 단위의 초미세 가공·세척에 주로 사용된다. 초순수는 용도에 따라 15~20여개 공정을 거쳐 생산되는데, 이 공정에서 고난도 핵심기술로 분류되는 세 가지 중 하나가 탈기막 기술이다. 탈기막은 분리막으로 물속에 녹아있는 산소 농도를 10억 분의 1 이하로 제거하는 핵심 장치다. 세프라텍은 2006년 설립된 분리막 제조 전문기업으로, 분리막 기술을 이용한 공정과 시스템 설계에 필요한 서비스를 제공한다. SK에코플랜트는 그간 쌓아온 수처리 운영 노하우를
초순수 O&M 사업 시작으로 협업 범위 확대하고 공동출자회사(JV) 설립도 고려 SK에코플랜트가 반도체 공정에 필수적인 '초순수'(UPW·Ultra Pure Water) 사업에 출사표를 던졌다. 19일인 오늘 SK에코플랜트는 전날 한수테크니칼서비스(HTS)와 초순수 운영 및 사업개발 협력을 위한 업무협약을 맺었다고 밝혔다. 초순수는 순도 100%에 가깝게 불순물을 극히 낮은값으로 제거한 고도로 정제된 물이다. 반도체, 태양광 패널, 2차 전지, LCD 등 나노미터 단위의 초미세 가공·세척에 주로 사용된다. 초순수 수요는 지속적으로 늘고 있다. 글로벌 물 사업 조사기관 GWI에 따르면, 2024년 글로벌 초순수 시장 규모는 약 23조 원으로 2020년 대비 약 14% 성장할 전망이다. 반도체 제조에 필요한 공업용수 중 초순수가 차지하는 비율은 약 50%에 달하는 것으로 알려져 있다. 안정적인 고순도 초순수 확보가 제품의 경쟁력과도 연결되는 셈이다. 한수테크니칼서비스는 초순수 관련 독보적인 기술력을 보유한 전문기업이다. 1988년부터 반도체 제조용 초순수 시스템의 EPC(설계·조달·시공)는 물론 운영, 시운전, 유지보수 등 서비스까지 수행한다. SK하이닉
반도체 개발 단계에서 발생하는 ESD 관련 신뢰성 문제를 사전에 파악해 보호 회로 성능 향상 큐알티가 22일인 오늘 TLP(Transmission Line Pulse) 장비를 활용해 ESD(Electro-Static Discharge, 정전기 방전) 신뢰성 서비스 강화에 나선다고 밝혔다. TLP 장비는 정전기 방지를 위해 반도체 칩 내부에 설계된 ESD 보호 회로가 반도체 공정에 따라 설계 영역 내에서 정상 동작하는지 평가, 분석하기 위해 주로 사용된다. ESD 현상이 발생할 시 ESD 보호 회로가 견딜 수 있는 최대 전류, 전압, 저항값 등을 구체적인 데이터로 구현한다. TLP 장비를 통해 확보된 데이터 값은 반도체 개발 단계에서 발생하는 ESD 관련 신뢰성 문제를 사전에 파악해 보호 회로의 성능을 향상시키는 데 도움을 준다. TLP는 웨이퍼 레벨뿐 아니라 패키지 레벨에서도 소자 및 회로 평가가 가능해 ESD 불량 원인 분석에 널리 활용되고 있다. 국내 반도체 시험인증 전문기관 중에서는 유일하게 큐알티가 해당 장비를 보유하고 있는 것으로 알려져 있다. 해당 장비 도입으로 큐알티는 ESD 신뢰성 평가의 분석 수준을 한 단계 끌어올릴 수 있게 되었다. 기존 E
반도체 장비 및 공정을 전시하는 세미콘 코리아 2022(이하 세미콘)이 9일인 오늘 서울 코엑스에서 열렸다. 9일부터 11일까지 총 3일간 개최되는 세미콘는 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 대표 반도체 제조사를 비롯해 전 세계 반도체 장비·재료 업체 500여곳이 2000부스 규모로 참여해 최신 반도체 기술을 전시한다. 세미콘을 주최하는 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 코로나19 팬데믹 이후 3년 만에 오프라인 전시 개최를 결정했다. 특히 오미크론 확산으로 인한 감염 위협을 막고 안전한 전시를 진행하기 위해 철저한 방역 강화에 신중을 기했다. 세미콘 전시에 앞서 삼성전자와 ASML, 현대모비스, 아이온큐가 기조연설을 맡았다. 김형섭 삼성전자 부사장이 ‘데이터 중심 시대에 실리콘 혁신을 주도하다’를 주제로 첫 연사로 나섰으며, 피터 베닝크 ASML 회장은 ‘협업을 통한 혁신’에 대해 발표했다. 조성환 현대모비스 사장은 10일 ‘미래 모빌리티의 반도체’를 주제로 발표하며, 김정상 아이온큐 공동창업자는 오는 11일 ‘양자 컴퓨터와 컴퓨팅의 미래’를에 대해 소개할 예정이다. 이와 함께 세계 반도체 전문가 120명이 온라인 회의·강연으로 정보를 공유할 예정이다. 참관
헬로티 서재창 기자 | 미국이 중국 공장에 최첨단 반도체 장비를 배치하려는 SK하이닉스의 계획에 제동을 걸면서 중국의 반도체 자립 야심이 새로운 역풍을 만났다고 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)가 24일 보도했다. 앞서 지난 18일 로이터 통신은 SK하이닉스가 중국 장쑤(江蘇)성 우시(無錫) D램 반도체 공장에 초미세공정 핵심인 극자외선(EUV) 노광장비를 배치하려고 계획했으나, 미국의 반대로 좌초할 가능성이 제기된다고 보도했다. 미국은 중국의 군사력 증대에 악용될 수 있다며 첨단 장비와 기술의 중국 수출을 막고 있다. SK하이닉스는 우시 공장에 네덜란드 반도체 장비기업 ASML이 독점 생산하는 EUV 노광장비를 설치해 반도체 제조 공정의 수율을 끌어올린다는 계획을 세웠다고 로이터는 전했다. 이와 관련해 최근 한국을 방문한 캐서린 타이 미국 무역대표부(USTR) 대표는 지난 22일 방송된 CBS 라디오 인터뷰에서 "첨단기술로서 민감하고 국가 안보에 리스크가 될 수 있다는 정당한 이유가 있었던 것으로 안다"고 밝혔다. SCMP는 "SK하이닉스가 우시 공장에서 첨단 반도체 생산 확대 계획을 철회한다면, 미국의 기술 제재 속에서 반도체 등 전략적 기술의 자립을
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