테크노트 KLA-Tencor, 새로운 계측 시스템으로 5D™ 패터닝 제어 솔루션의 활용 범위 확대

KLA-Tencor Corporation은 Archer™ 500LCM과 SpectraFilm™ LD10이라는 첨단 계측 시스템 2종을 출시했다. 이들 제품은 16nm 이하급 IC의 개발과 생산을 지원한다. Archer 500LCM 오버레이 계측 시스템은 생산 과정의 전 단계에 걸쳐 정확한 오버레이 오류 피드백을 제공함으로써 칩메이커가 다중 패터닝, 스페이서 피치 스플리팅 등의 혁신적인 패터닝 기법을 적용할 때 발생하는 오버레이 문제를 해결하는 데 도움을 준다. SpectraFilm LD10 필름 계측 시스템은 높은 신뢰성과 정밀한 필름 두께 및 스트레스 계측을 통해 FinFET, 3D NAND 등 다양한 첨단 디바이스의 제조에 사용되는 필름 및 필름 스택의 검증과 모니터링을 지원한다. 이들 신제품은 KLA-Tencor의 고유한 5D™ 패터닝 제어 솔루션을 구성하는 핵심 제품이다. 5D 패터닝 제어 솔루션은 전체 공정을 특성화하고 모니터링하여 최적의 패터닝 결과를 이끌어내는 솔루션이다. KLA-Tencor의 Parametric Solutions Group 부사장인 아흐마드 칸(Ahmad Khan)은 "비파괴 광학 계측 업계를 대

• 2015-03-06 17:09