최신뉴스 어플라이드 머티어리얼즈, 반도체 제작 위한 'Sym3 식각 시스템' 출시

[헬로티] 어플라이드 역사상 가장 빠르게 성장하는 제품, 현재까지 5천 개 Sym3 챔버 출하 어플라이드 머티어리얼즈가 센트리스 Sym3 식각(etching) 제품군에 ‘센트리스 Sym3 Y’ 신제품을 성공적으로 추가했다. ▲어플라이드 Sym3 Y 식각 시스템 반도체 제조사는 센트리스 Sym3 Y 신제품을 사용해 첨단 메모리와 로직 칩에 더욱 소형화된 특성을 정밀하게 패터닝하고 성형할 수 있다. 새로운 센트리스 Sym3 Y는 어플라이드의 최첨단 컨덕터 식각 시스템이다. 이 제품은 혁신적인 RF 펄싱 기술을 사용, 핀펫과 최근 각광받는 게이트 올 어라운드(GAA) 아키텍처를 포함한 3D 낸드, D램, 로직에서 고도로 집적된 고종횡비(high-aspect-ratio) 구조 생성을 위해 요구되는 매우 높은 수준의 소재 선택성, 깊이, 프로파일 제어를 제공한다. Sym3 제품군의 기술적 고유 특성은 고전조도(high-conductance) 챔버 아키텍처다. 이 아키텍처는 웨이퍼가 패싱할 때마다 축적되는 식각 부산물을 빠르고 효율적으로 제거함으로써 탁월한 식각 프로파일 제어를 제공한다. Sym3 Y 시스템은 핵심 챔버 부품을 보호하는 독점 코팅

• 서재창 기자
• 2020-08-20 10:04