트리비젼이 머신비전과 AI 기술을 결합한 통합 솔루션으로 업계의 주목을 받고 있다.
트리비젼은 머신비전과 AI 기술을 결합해 간단하고 사용하기 쉬운 웨이퍼용 ID 판독 하드웨어와 소프트웨어 통합 제품인 ‘TVB-HSC6500-AI-R’를 설계했다. 이 솔루션은 웨이퍼 문자 판독에 특화된 AI 인식 알고리즘을 탑재해 다양한 재질과 크기의 웨이퍼에서 OCR과 QR코드를 정확하고 효율적으로 판독할 수 있다. 뿐만 아니라 인식 정확도 99.9% 이상으로 최대 36000Pcs/H 판독율을 달성할 수 있다. 이에 더해 웨이퍼 생산은 전체 공정 ID 판독 및 추적 기능을 제공해 반도체 산업이 디지털 및 지능형 업그레이드를 빠르게 완료할 수 있도록 돕는다.
일반적으로 반도체 공장은 웨이퍼 제조를 위한 정보 피드백 및 추적 메커니즘을 제공하기 위해 오랫동안 웨이퍼 ID를 사용해왔기 때문에 반도체 고유의 SMI 글꼴에서 정보를 읽어야 한다. 그 과정에서 웨이퍼 표면의 작은 문자만의 특징과 다양한 문자 구성 등의 이유로 전통적인 비전은 문자 인식에서 많은 어려움을 겪는다. 또 고반사 미러는 외부광 간섭, 다른 공정 배경 간섭 등에 매우 취약해 문자 반사 판독이 불가능하고 유사한 문자를 잘못 식별하는 등 웨이퍼 ID 판독 오류율이 더 높아 정상적인 생산 공정에 영향을 미치기도 한다.
이번에 트리비젼이 선보인 솔루션에는 18CH 광원이 내장되어 있다. 내장된 18CH 광원은 사용자에게 브라이트 필드와 다크 필드 조명을 자유롭게 제어할 수 있도록 돕는다. 여러 광원을 조합하면 모든 웨이퍼에서 식별을 명확하게 이미지화할 수 있어 사용자가 유연하게 제어하는 데 편리하다.
뿐만 아니라 TVB-HSC6500-AI-R는 웨이퍼 ID 인식을 위해 설계된 AI 인식 알고리즘을 탑재했다. 실제 테스트와 검증을 거쳐 웨이퍼 글꼴, 문자 내용, 특수 기호, 글꼴 크기, 다른 밝기, 배경 간섭 등 복잡한 상황에서도 시야 내 어느 위치에서나 정확한 문자 정보를 자동으로 인식할 수 있도록 구현했다. 인식 정확도 99.9% 이상으로 최고 읽기율 36000Pcs/H를 달성할 수 있고 모든 SEMI 유형의 글꼴과 호환되며 모든 비트(12비트, 16비트, 18비트 등) 길이와 호환도 가능하다. 여기에 내장 카메라는 사용자의 추가 모델 교육 없이 모든 폰트 및 유형의 AI 인식 모델 및 SEM 방식과 호환되며 현장 모델 감지 결과가 좋지 않을 경우 사용자에게 무료로 모델 관련 교육도 제공된다.
헬로티 김재황 기자 |
