인피니티시마(Infinitesima)는 ASML을 비롯한 파트너사들과 함께 3년에 걸친 공동 개발 프로젝트에 착수한다고 23일 밝혔다. 이번 프로젝트에서 Metron3D 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템은 하이브리드 본딩, 고개구율(high-NA) EUV 리소그래피, 그리고 상보성 전계효과 트랜지스터(complementary field-effect transistor, CFET)와 같은 차세대 3D 로직 반도체 구조 등 첨단 애플리케이션을 위한 계측 솔루션을 최적화하고 탐색하는 데 활용될 예정이다. 이 프로젝트는 인피니티시마의 RPM(Rapid Probe Microscope) 기술과 각 파트너사의 전문 역량을 결합해 고속 이미징, 간섭계 수준의 정밀도, 그리고 깊이 있는 3차원(3D) 표면 분석을 가능하게 할 것으로 기대된다. 이를 통해 관련 업계가 고속, 대량 생산 환경에서도 소자 전 구조에 걸쳐 정밀한 3D 계측 데이터를 확보해야 하는 시급한 요구에 대응할 수 있을 것으로 기대된다. 이번 프로젝트의 일환으로, 인피니티시마는 나노일렉트로닉스 및 디지털 기술 분야의 세계적인 연구·혁신 허브인 imec에 장비를 설치할 예정이다. 이렇게 설치된 시스템은 AS
프레임리스 모터·전자식 브레이크·정밀 위치 제어·高RPM 담아 플랜트 현장, 자동화 시스템 등에 활약 기대 로보티즈가 로봇 액츄에이터 ‘다이나믹셀-Y’ 출시를 발표하고 로보틱스 기술의 발전 방향성을 제시했다. 액츄에이터는 기계·전기전자 등 각종 공학 분야에서 모션 제어를 관장하는 장치 및 기기로, 현대에 들어 소프트웨어 모듈을 내장해 시스템 및 컴퓨터에서 전송되는 명령어를 기반으로 대상에 물리적임 힘을 주는 의미까지 개념이 확장됐다. 다이나믹셀-Y는 고성능 프레임리스 모터를 기반으로 전자식 브레이크 기능, 고출력 RPM, 정밀한 위치 제어 등 성능을 갖춰 차세대 액츄에이터로 평가받는 시리즈다, 지난해 10월 열린 ‘국제모션컨트롤산업전’에서 처음 모습을 드러낸 다이나믹셀-Y는 공개 당시 업계의 반향을 일으킬 것이라는 기대를 받은 제품이다. 이 기술은 구동을 담당하는 모터, 모터의 출력을 제어하는 감속기로 구성됐다. 외형은 다양한 시스템에 활용 가능하도록 가운데 홀이 있는 중공 샤프트로 설계돼 있다. 아울러 커스터마이징 요소 적용이 가능해 맞춤형 제품을 구성할 수 있다. 다이나믹셀-Y는 프레임리스 모터를 채용했고, 다이렉트 드라이브 방식을 지원해 정밀하고 빠른
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