반도체 우프틱스, Phemet 인라인 웨이퍼 계측 솔루션 출시

반도체 파면 위상 이미징(WFPI) 기술의 선도 기업 우프틱스(Wooptix)가 나노미터 이하의 초고분해능으로 웨이퍼 형상과 기하구조를 실시간 측정하는 인라인 계측 솔루션 ‘Phemet(페멧)’을 공식 출시했다. 우프틱스는 이달 21일까지 독일 뮌헨에서 개최되는 SEMICON Europa 전시회에서 Phemet을 첫 공개하며 글로벌 반도체 제조사의 주목을 받고 있다. 이번 신제품은 차세대 3D 적층 반도체, HBM, 3D NAND 등 공정 허용 오차가 극도로 낮아지는 제조 환경에서 인라인 계측의 새로운 기준을 제시한다는 평가를 받는다. Phemet의 가장 큰 특징은 단일 이미지에서 초당 1,600만 개 이상의 데이터 포인트를 서브나노미터 분해능으로 포착하는 속도와 정밀도다. 웨이퍼의 휨·뒤틀림·나노토포그래피 등 복잡한 형상까지 실시간으로 파악할 수 있어, 메모리·로직 디바이스뿐 아니라 하이브리드 본딩 구조에도 적합하다. 특히 단일 측정으로 전체 실리콘 웨이퍼의 형상 정보를 확보할 수 있어 공정 엔지니어가 오버레이 오차나 수율 저하 원인을 빠르게 분석하고 조치할 수 있다는 점이 강점이다. 우프틱스는 자체 개발한 WFPI 기술을 기반으로 웨이퍼 표면의 빛 분포를

• 김재황 기자
• 2025-11-20 21:31