일반뉴스 오로스테크놀로지, 연세대와 첨단 나노계측 연구센터 설립

고난도 기술과 미래 유망 기술 발굴 및 공동 연구개발 진행 예정 오로스테크놀로지가 국내 유수의 광학 연구기관과 손을 잡았다. 오로스테크놀로지는 이번 협력을 통해 최첨단 반도체 공정을 위한 순수 국내 계측 기술력을 강화할 계획이다. 오로스테크놀로지는 연세대 공과대학 내 초정밀 광 기계기술 선도연구센터(ERC)와 ‘첨단 나노계측 연구센터’를 설립했다고 밝혔다. 첨단 나노계측 연구센터는 산학협력을 통해 순수 국내 계측 기술을 발전시키고, 연구 환경을 개선하기 위해 설립됐다. 앞으로 양 기관은 고난도 기술과 미래 유망 기술의 발굴 및 공동 연구개발을 진행할 예정이다. 오로스테크놀로지는 국내에서 유일하게 오버레이 계측 시스템을 자체 개발해왔다. 오버레이는 반도체 웨이퍼의 상부층과 하부층의 전자회로 패턴의 위치가 정확하게 정렬되는 지 측정하는 기술이다. ERC는 국내 유수대학의 신진연구자들이 특정 분야를 집중적으로 연구하기 위해 모인 기관이다. 지난 11월 24일 연세대 공과대학에서 진행한 협약식에는 이준우 오로스테크놀로지 대표와 명재민 연세대 공과대학 학장, 해당 연구의 중심 역할을 할 강신일 연세대 기계공학과 교수 등이 참석했다. 이준우 오로스테크놀로지 대표는 “이

• 서재창 기자
• 2022-12-08 11:17