헬로티 –매일 만나는 첨단 산업, 경제, IT 소식

프로덕트 앤비젼, 불투명 기판 검사에 특화된 3way scan Module 소개

앤비젼이 웨이퍼 엣지 고속 검사용 라인 스캔 이미징 모듈을 소개했다. 앤비젼이 개발한 3way scan Module은 라인 스캔 방식의 고속 검사 기기다. 24.7mm의 넓은 라인 스캔 FOV가 특징이며, System resolution은 2.5~4.66μm/pixel이다. Optical resolution은 3~4.9μm이며, 검사 가능 두께는 0.8~3mm다. 커스텀 개발도 가능하다. 이 이미징 모듈은 웨이퍼 및 글라스의 전면, 후면, 가장자리 등의 조각, 긁힘, 미세 균열 같은 결함을 한 번에 찾아준다. 최소 0.8~1.0mm 두께의 대상을 3μm의 Optical resolution으로 인라인에서 빠른 검사가 가능해 기존 육안 검사 대비 향상된 속도와 정확도로 웨이퍼 및 글라스 엣지 검사에 완벽한 솔루션을 제공한다. 헬로티 함수미 기자 |

함수미 기자

2023-07-18 09:38

일반뉴스 [인터배터리 2022] 다이트론코리아의 금속 난반사 극복하는 광학 시스템

금속 표면의 미세 찍힘 검사를 위한 광학 시스템 다이트론코리아가 인터배터리 2022에서 독자적으로 개발한 광학 시스템을 선보였다. 다이트론코리아는 평행광 유닛과 텔레센트릭 렌즈를 조합해, 금속 표면의 미세한 스크래치나 찍힘을 검사할 수 있는 광학 시스템을 선보였다. 현장에서 참관객들은 해당 광학 시스템을 통해 코인 배터리에 나 있는 0.6mm의 미세한 스크래치를 확인할 수 있었다. 현장에서 관계자는 "이차전지 제조에서 케이스의 스크래치나 찍힘은 심각한 결함"이라며 "금속 재질의 객체를 검사할 때 가장 문제가 되는 부분은 난반사인데, 다이트론코리아의 광학 시스템으로 이를 극복할 수 있다"고 전했다. 다이트론코리아는 또한 뒷면의 필름 엣지를 검사할 수 있는 'IR 플랫돔을 활용한 분리막 엣지 검사 솔루션'을 선보였다. 두세 겹의 필름이 겹쳐져 있을 때, 일반 가시광선으로 뒷면의 필름의 엣지를 검사하기는 어렵다. IR플랫돔을 활용하게 되면 윗면의 필름을 투과해서 뒷면의 엣지면을 볼 수 있다. 관계자는 "앞면을 투과해서 뒷면을 보게 되면 소프트웨어적으로 뒷면 엣지 이미지를 그랩해서 얼라인한다든지, 컷을 하는 식으로 활용할 수 있다"며 "필름 쪽에도 활용이 가능하지만

이동재 기자

2022-03-18 17:39