ACM 리서치는 업계 선도적인 패널 제조 고객사에 자사의 첫 번째 패널 전기화학 도금 장비인 Ultra ECP ap-p를 공급했다고 11일 밝혔다. 이번 공급은 패널 레벨 전해도금 기술 분야에서 ACM의 기술 선도력을 입증하는 동시에, 차세대 디바이스 개발을 위한 확장 가능하고 비용 효율적인 첨단 패키징 솔루션에 대한 시장 수요가 지속적으로 증가하고 있음을 보여주는 의미 있는 성과다. Ultra ECP ap-p는 대형 패널 시장을 위한 최초의 상업용 패널 레벨 구리 증착 시스템으로, 필러(pillar), 범프(bump), 재배선층(RDL) 공정 전반의 도금 단계를 지원한다. 이 시스템은 기존 원형 웨이퍼 처리와 견줄 수 있는 패널 처리 성능을 확보해 반도체 제조사가 까다로운 공정 요구 사항을 보다 높은 효율로 충족할 수 있도록 돕는다. 데이비드 왕 ACM CEO는 “Ultra ECP ap-p에 대한 주문 요청을 이행하게 되어 기쁘다”며 “이번 성과는 고객의 팬아웃 패널 레벨 패키징 로드맵을 가속화하기 위한 당사의 차별화된 기술력과, 고성능 수평식 패널 전해도금 솔루션을 제공할 수 있는 역량을 다시 한번 입증한 것”이라고 밝혔다. 이어 “차세대 반도체 디바이스
헬로티 서재창 기자 | ACM 리서치는 주요 IC 제조기업으로부터 자사의 Ultra ECP map 구리 도금 장비에 대한 평가판을 수주했다고 밝혔다. 해당 장비의 납품은 2022년 초로 예정됐으며, 계약 조항에는 관련 기술적 품질 보장 및 기타 상업적 조건들이 적용된다. ACM 리서치의 대표이사 CEO인 데이비드 왕(David Wang) 박사는 “아시아 기반의 또 다른 주요 반도체 제조사로부터 첨단 공정 개발을 위해 Ultra ECP map 장비에 대한 평가판을 수주하게 돼 기쁘다”고 밝혔다. 이어 그는 “이번 장비 주문은 ACM의 기술 선도력과 현지 지원팀, 그리고 점점 더 확대되는 생산 규모를 입증한 것이다. 이 장비에 대한 평가를 성공적인 완료함으로써, 우리는 이 고객사는 물론 이 지역의 다른 주요 고객과도 많은 비즈니스 및 협력 기회를 이어갈 것으로 믿는다”고 덧붙였다. ACM의 Ultra ECP map은 업계에서 이미 검증된 전기화학도금(ECP) 기술을 기반으로 한다. 이 장비는 ACM의 다중 양극 부분 구리 도금 기능을 지원해 첨단 기술 노드에서 듀얼 다마신 구조 위에 구리 금속층 증착이 가능하게 해준다. 또한, 소모품 비용과 소유 비용을 최소화하
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