자동차, AI 등 다양한 분야에서 다기능·고집적 반도체에 대한 수요가 폭발적으로 늘어나면서 고집적화와 기판 대형화가 확대되고 있다. 이로 인해 반도체 패키지와 웨이퍼의 보이지 않는 결함을 검출하기 위한 비전검사 시스템에 대한 수요도 함께 증가하고 있다.
이처럼 보이지 않는 결함을 파악할 수 있는 비전검사 시스템 중에서도 일반적인 비전검사를 통해서는 확인하기 힘든 결함도 한눈에 볼 수 있는 SWIR 카메라가 큰 주목을 받고 있다. 이러한 추세에 발맞춰 엠비젼은 SWIR 카메라와 함께 사용할 경우 결함 검출력을 크게 향상할 수 있는 SWIR 조명을 개발, 출시하며 큰 주목을 받고 있다.
SWIR 조명은 동축 스폿조명, 면조명, 돔조명으로 개발됐으며 파장은 1100, 1200, 1300, 1450, 1550, 1650nm로 다양하게 준비되어 있어 사용자가 필요한 파장을 자유롭게 선택해 적용할 수 있어 높은 유용성을 자랑한다.
이와 함께 엠비젼은 적외선의 회절현상을 고려해 최적의 설계로 개발한 SWIR 렌즈도 0.5X, 0.7X, 1.0X로 출시했다. SWIR 카메라를 중심으로 SWIR 조명과 렌즈를 시스템으로 구성해 반도체와 웨이퍼 내부 결함에 대한 검출력을 획기적으로 향상할 수 있다는 것이 엠비젼 측의 설명이다.
한편, 엠비젼은 지난 10월 8일부터 10일까지 독일 슈투트가르트에서 개최된 VISION 2024에 참가해 SWIR 조명과 렌즈를 선보였다. 독일 현지에서는 전 세계 다양한 산업군의 바이어가 엠비젼의 머신비전 솔루션에 대해 큰 관심을 보였다. 이와 관련해 엠비젼 관계자는 “엠비젼의 고유 기술을 적용해 개발한 SWIR 조명과 렌즈는 시스템으로 구성되어 반도체 후공정 업체에 납품됐다”며 “또 해외수출과 관련해서도 현재 협의 중일만큼 해외 시장에서도 높은 경쟁력을 입증받고 있다”고 설명했다.
헬로티 김재황 기자 |
