DUV 노광장비 중국 수출 승인 요구조건에 대한 새 규정 발표할 예정
미국과 네덜란드가 중국에 대한 추가적인 반도체 장비 수출 제한 조치를 발표할 것이라고 로이터 통신이 29일(현지시간) 보도했다.
로이터는 네덜란드 정부가 30일 자국의 반도체 노광장비 제조업체인 ASML이 생산하는 심자외선(DUV) 노광장비 중국 수출 승인 요구조건에 대한 새로운 규정을 발표할 예정이라고 전했다. 네덜란드 정부가 새로운 규제를 즉각 시행하지 않고 9월쯤부터 적용할 가능성이 있다고 덧붙였다.
네덜란드 정부는 2019년부터 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 수출을 금지했으며 지난 3월에는 그동안 수출을 허용했던 DUV 노광장비에 대한 수출 규제도 예고한 바 있다. 당시 ASML은 네덜란드 정부 규제로 DUV 노광장비 중 신형 제품이 영향을 받을 것으로 예상했다. 그러나 ASML의 DUV 노광장비 가운데 구형 제품도 미국의 수출 통제 강화로 중국 수출길이 막힐 것으로 보인다고 로이터는 전했다.
지난해 10월 중국에 대한 첨단 반도체와 장비 수출 통제를 발표한 미국 정부가 6개 중국 시설에 대한 반도체 장비 수출 시 사전 승인을 받도록 하는 새로운 규정을 준비하고 있기 때문이다. 한 소식통은 미국 정부가 예전보다 낮은 비율의 미국산 부품이 들어간 다른 기업의 제품에까지 수출 승인을 받도록 할 방침이라면서 이르면 7월 말쯤 새로운 규정이 발표될 것이라고 전했다.
이 소식통은 ASML의 노광장비에도 미국산 부품이 들어가 있기에 새로운 규정이 시행되면 DUV 노광장비 가운데 하위 제품도 영향을 받게 될 것이라고 설명했다. 미국이 검토 중인 추가 규제 대상에 중국 반도체 파운드리인 SMIC의 반도체 공장도 포함돼 있다면서 이들 시설에 대한 수출 승인은 받아들여지지 않을 가능성이 크다고 덧붙였다.
미국은 지난해 10월 중국의 반도체 생산 기업에 대한 미국산 첨단 반도체 장비 판매를 사실상 금지하고 인공지능(AI) 및 슈퍼컴퓨터에 사용되는 첨단 반도체에 대한 수출을 제한하는 수출 통제 조치를 공식 발표했다.
로이터는 미국이 그동안 동맹국에도 대중국 수출 통제에 동참할 것을 요구해왔다면서 일본의 니콘과 도쿄 일렉트론도 다음 달 23일부터 23종의 반도체 제조설비에 대한 수출 제한에 들어갈 예정이라고 전했다.
헬로티 서재창 기자 |
