주사전자현미경(SEM) 기반 융복합 산업 장비 전문기업 코셈이 AP시스템에 ‘이온빔 모듈(Ion Beam Module)’ 3대를 납품하며 고부가가치 산업용 핵심 부품과 모듈 시장에 진출한다고 밝혔다. 앞서 코셈은 지난해 반도체 및 디스플레이 장비 선도기업인 AP시스템과 이온빔 모듈 연구개발 위탁계약을 체결한 바 있다. 이후 코셈은 독자적 이온식각 기술이 적용된 이온빔 모듈 개발에 성공하였고, 올해 1월 3대의 제품을 성공적으로 공급했다. 이번에 공급한 제품의 경우 연구용 장비 시장에서 쌓아온 기술력을 바탕으로 단순 시제품 공급을 넘어 실제 산업 현장의 양산 공정 장비에 적용 가능한 수준의 기술력을 증명했다는 점에서 고무적이라고 회사 측은 밝혔다. 특히 해당 이온빔 모듈은 향후 AP시스템의 차세대 반도체 공장 장비 내 핵심 컴포넌트로 탑재돼 공정 정밀도를 획기적으로 높이는 역할을 수행할 예정이다. 코셈 관계자는 “이번 AP시스템에 대한 이온빔 모듈 공급은 당사의 기술이 실제 산업 현장의 엄격한 기준을 충족했음을 입증하는 이정표”라며, “외산 의존도가 높았던 반도체 핵심 부품의 국산화를 실현했다는 점에서 기술적 및 경제적 가치가 크다”고 밝혔다. 이어 “올해를
쎄크가 한국거래소로부터 코스닥 상장을 위한 예비심사를 통과했다. 회사는 증권신고서 제출을 위한 제반 사항을 준비한 뒤 기업공개(IPO) 공모 절차를 본격화할 예정이다. 상장 주관회사는 신영증권이다. 지난 2000년 설립된 쎄크는 전자빔 원천 기술을 기반으로 검사·분석용 장비를 개발하는 검사장비 전문 기업이다. 주력 사업 분야로는 ▲반도체 및 배터리 산업용 X-ray(엑스레이) 검사 장비 ▲방산 미사일, 항공, 선박 등의 선형가속기(LINAC)를 활용한 비파괴 검사 장비 ▲화학, 신소재, 에너지, 바이오 분야 등 연구개발 및 품질 관리용 탁상형 주사전자현미경(Tabletop SEM) 등이 있다. 쎄크는 전기·전자부품, 반도체, 자율주행 자동차의 전장 부품, 모바일 등 다양한 분야의 결함검사가 가능한 반도체용 엑스레이 검사 장비를 판매하고 있다. 이는 지난 2019년부터 2023년까지 누적매출액 923억 원을 기록하며 시장 내 입지를 공고히 하고 있다. 이와 함께 HBM 반도체의 TSV(Through-Silicon Via, 실리콘관통전극) 개발에 따라 나노 포커스 엑스레이 튜브(Nano Focus X-ray tube)를 탑재한 초정밀 엑스레이 검사 장비의 수요가
기기 조정·관찰 및 분석에 이르기까지 자동화 기술 적용 지올(JEOL Ltd., 사장 겸 최고경영자 / 오이 이즈미[Izumi Oi])이 새로운 쇼트키 전계방사 주사전자현미경 ‘JSM-IT810’을 출시했다고 발표했다. 전계방사 주사전자현미경(FESEM)은 연구기관, 대학, 산업계 등 과학 및 기술 영역에서 광범위하게 사용된다. 쉽고 정확할 뿐만 아니라 빠르기까지 해 관찰에서 분석까지 수행할 수 있는 현미경에 대한 수요가 높아지고 있다. ‘네오 액션(Neo Action)’ 자동 관찰 및 분석 기능, 자동 교정 기능을 JSM-IT800에 추가한 JSM-IT810은 높은 작동성을 위해 제로맥(Zeromag) 및 EDS 통합과 같은 차세대 전자 광학 제어 시스템인 ‘네오 엔진(Neo Engine)’ 및 ‘SEM 센터(SEM Center)’를 장착함으로써 효율성과 생산성을 개선했을 뿐만 아니라 인력 부족 문제를 해결했다. 지올 관계자는 “‘JSM-IT810’의 대표적인 장점은 △자동 관찰 및 분석 기능 ‘네오 액션’ △자동 교정 기능 ‘SEM 자동 조정 패키지(SEM Automatic Adjustment Package)’ △라이브 기능(Live Function) △
[첨단 헬로티] 쎄크(sec)는 1월 31일(수)부터 3월 2일(금)까지 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘 코리아 2018’에 참가해 X-ray 검사장비, 주사전자현미경 등 각종 검사·분석장비를 선보이며 검사장비 전문업체로서의 위용을 자랑했다. 쎄크는 산업용 X-ray 검사장비, 주사전자현미경(SEM) 등 검사, 분석용 장비를 개발하여 판매하는 국내 최고의 검사장비 전문기업이다. 또한 LCD 구동 IC의 반도체 패키징 장비, 선형 가속기를 개발하여 판매를 하고 있다. 특히 전시회에서는 일반 전자현미경과 동등한 분해능, 기능을 탑재한 주사전자현미경(SEM) ‘SNE-4500M Plus’가 눈길을 끌었다. 이 제품은 Normal-SEM의 Module 소형화를 실현함으로써 최대 15만 배까지 영상을 관찰할 수 있는 경제적인 Tabletop-SEM이다. 조건에 따라 쉽게 조작이 가능한 Variable Aperture 장착으로 고분해능인 5nm의 높은 Image Scan이 가능한 모델이다. 한편 ‘세미콘 코리아 2018’은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4
엠크래프츠는 소재, 바이오, 나노기술 분야를 연구하는 데 있어 필수 장비인 주사전자현미경(SEM)을 개발, 생산하는 기업이다. 엠크래프츠는 분해능 3nm급 주사전자현미경인 Genesis 시리즈를 독자적으로 개발하고 원천기술을 모두 확보함으로써, 글로벌 경쟁사인 일본의 HITACHI, JEOL, 미국의 FEI 등과 세계무대에서 당당하게 경쟁하고 있다. 이솔이 기자
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