테크노트 반도체 소부장 국산화 지원...나노종합기술원, 12인치 반도체 20나노 미세패턴 공정기술 개발

12인치 반도체 테스트베드 활용 반도체 소부장 국산화 지원역량 강화 SADP(Self-Aligned Double Patterning) 확보, 20nm 1:1 Pitch의 Line & Space 구현 나노종합기술원은 반도체 소부장 지원역량 강화를 위한 12인치 반도체 20나노 미세패턴 공정기술 개발에 성공하였다고 밝혔다. 기술원은 국내 최초로 12인치 반도체 테스트베드를 구축 운영하고 있는 나노인프라 기관으로, 핵심장비(ArF Immersion Scanner 등)와 클린룸 구축을 완료하고 2021년 3월부터 국내외 반도체 소부장 기업을 위한 서비스를 제공하고 있었으나, 소부장 기업은 대기업 반도체 양산기술 수준에 부합하는 반도체 소재와 장비 개발을 위한 20나노급 미세패턴과 증착 서비스 제공을 요청하였다. 이에 기술원은 공정별 전문가로 구성된 TF을 구성하여 공정기술 개발을 추진한 결과, 단기간(6개월)에 추가적 장비투자 없이 20나노 미세패턴 공정기술을 개발하는 데 성공하였다. 기술원이 개발한 공정기술은 기구축 장비를 활용한 공정기술(노광, 식각, 박막 등) 개발과 집적화를 통한 기술개발 성과로 12인치 핵심장비(ArF Immersion Scanner

• 김진희 기자
• 2022-06-05 09:39