물리적인 전수 계측 없이 모든 제품의 공정 결과값 예측해 가우스랩스가 AI 기반 가상 계측 솔루션 '파놉테스 VM(Panoptes Virtual Metrology)'의 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다. 파놉테스 VM은 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터를 활용해 제조 공정 결과를 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 가우스랩스는 이 솔루션을 적용하면 물리적인 전수 계측 없이 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 줄일 수 있다고 설명했다. 가우스랩스는 "이번에 출시한 파놉테스 VM 2.0은 신규 모델링 기능을 적용해 기존 버전 대비 예측 정확도와 사용성을 크게 개선했다"며 "산업용 AI 기술 혁신을 통해 산업 현장에서 공정 전반의 혁신을 주도하겠다"고 밝혔다. 2020년 8월 출범한 가우스랩스는 'AI 기술을 통한 제조 공정 혁신' 비전 하에 제조 데이터 인텔리전스(MDI)를 위한 AI 솔루션 개발에 몰두, 2022년 11월 파놉테스 VM 1.0을 출시했다. SK하이닉스는 같은 해 12월부터 양산 팹에 이를 도입, 박막 증착 공정에 적용했다. 파놉테스 VM으로 가상 계측한 결과값을 장비의 최적 공정 조건을 찾아주는 솔루션
SK하이닉스는 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 효율 및 수율 개선에 나섰다고 10일 밝혔다. SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 기업 가우스랩스가 작년 11월 출시한 가상 계측 솔루션 '판옵테스 VM'을 12월부터 양산 팹(반도체 생산공장)에 도입했다. 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 판옵테스 VM을 우선 도입한 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심 공정이다. 박막 두께와 굴절률은 반도체 품질과 직결되지만, 미세한 박막에서 이를 계측하려면 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측이 어렵다. 이를 해결하고자 도입한 판옵테스 VM을 통해 공정 산포(생산된 제품의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선 효과를 얻었다. SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 외 다른 공정으로도 판옵테스 VM 도입을 확대할 계획이다. 김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 "가우스랩스와 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다"며 "반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것"이라고 말했다. 헬로티 이창현 기자 |