차세대 전자 소자 제조 화학 소재의 새로운 가능성 제시 인하대학교는 김명웅 화학·화학공학융합학과 교수, 이진균 고분자공학과 교수 공동연구팀이 새로운 개념의 반도체·디스플레이 생산 공정용 포토레지스트 소재 기술을 제안해 학계 주목을 받고 있다고 5일 밝혔다. 포토레지스트는 전기 회로를 만들 때 밑그림을 완성하는 핵심 과정인 광 리소그래피 공정에서 중요한 역할을 담당하는 핵심적인 화학 소재다. 포토레지스트의 성능은 생산되는 제품의 품질·수율과 깊은 연관이 있기 때문에 고성능 포토레지스트 기술의 중요성, 국산화가 국가 차원에서 강조되고 있다. 공동연구팀은 현재 반도체 산업의 주력 소재인 심자외선·극자외선 포토레지스트의 화학 구조에 변화를 줘 빛에 노출된 영역과 그렇지 않은 영역의 용해성(다른 물질에 녹을 수 있는 성질) 차이를 극대화할 수 있는 새로운 방법론을 제안했다. 반도체나 디스플레이 회로는 매우 작고 정밀한 미세한 선으로 구성돼있다. 이 미세한 선을 만들기 위해선 빛을 쏜 부분만 선택적으로 녹여 없애고 나머지는 남겨야 하는데, 이때 사용하는 게 포토레지스트다. 포토레지스트에서 빛을 받은 부분과 받지 않은 부분의 용해성 차이가 클수록 회로 패턴의 경계가 또렷
SAIT 소속 AI/CE 연구 리더와의 멘토링 세션 진행 및 ‘삼성 AI/CE 챌린지 캠프’ 개최 삼성전자가 AI 기술을 활용한 차세대 반도체 연구 역량 강화를 위해 인공지능(AI)과 컴퓨터 공학(Computer Engineering, 이하 CE) 분야 국내 우수 인력을 발굴하고, 연구 생태계를 강화한다. 삼성전자 SAIT(옛 종합기술원)는 8월 21일부터 10월 20일까지 2개월 간 국내 대학 학부생과 대학원생을 대상으로 ‘삼성 AI/CE 챌린지 2023’을 개최하고, 차세대 기술 리더의 연구를 지원한다. 올해로 3회를 맞는 ‘삼성 AI/CE 챌린지’는 과학기술 인재 발굴과 연구 강화를 위한 아이디어 공모전으로, 기존 AI 분야 외 CE 분야를 신설해 총 4개의 공모 부문으로 규모를 키웠다. 참여를 희망하는 학생들은 8월 21일부터 접수 가능하며 AI 분야는 10월 2일, CE 분야는 10월 20일까지 진행된다. 결과는 삼성전자 SAIT 홈페이지를 통해 10월말 발표된다. 공모 부문별 최우수상을 포함해 총 16개팀을 선발하여 시상하며, 부문별 최우수 1개팀은 1000만 원, 우수 1개팀은 500만 원, 장려 2개팀은 각 300만 원이 수여된다. 시상식은 1