서플러스글로벌은 지난 7일 한국공학한림원 재료자원공학분과 회원 20여 명을 초청해 반도체 장비 클러스터를 소개하는 행사를 진행했다고 8일 밝혔다. 이번 행사는 서플러스글로벌 대표이자 한국공학한림원 재료자원공학분과 정회원인 김정웅 대표의 초대로 이뤄졌다. 경기 용인시 통삼일반산업단지에 위치한 서플러스글로벌 반도체 장비 클러스터는 2만1000평 규모의 공유팹(Shared Fab) 콘셉트의 비즈니스 모델이다. 글로벌 반도체 장비 기업인 ASML, KLA, ONTO 이노베이션을 비롯해 한국반도체산업협회 아카데미가 입주해 반도체 장비 트레이닝 센터와 교육 시설을 운영 중이다. 원익 홀딩스, 프렘투 등 10여 개 기업도 연구 및 제조시설을 운영 중이다. 이날 행사에서는 서플러스글로벌의 레거시 반도체 장비의 재사용과 업사이클링 및 반도체 부품의 재활용을 통한 글로벌 레거시 반도체 장비 플랫폼 사업에 대한 발표도 진행됐다. 또한 ASML의 EUV 트레이닝 센터와 KLA의 VR 트레이닝 센터, 반도체 아카데미를 둘러보며 최첨단 반도체 장비 기술과 장비 실습 교육 환경에 대한 이해를 나눴다. 김정웅 서플러스글로벌 대표는 “한국 산업계와 공학계의 오피니언 리더들인 한국공학한림원
지난해 메모리 반도체 시장의 약세로 반도체 장비 제조업체 상위 5곳의 매출이 소폭 감소한 것으로 나타났다. 9일 시장조사업체 카운터포인트리서치에 따르면 '톱 5' 반도체 장비업체들의 지난해 총 매출은 전년 대비 1% 감소한 935억달러에 그쳤다. 지난해 상반기에는 재고 조정과 메모리 하락세로 장비 제조업체의 매출이 큰 폭으로 감소했으나, 하반기 D램 재고 정상화와 수요 증가로 연간 전체 매출이 소폭 감소하는 데 그쳤다고 카운터포인트리서치는 분석했다. 5곳 중 ASML과 어플라이드 머티리얼즈는 전년 대비 35%, 2% 성장한 반면, 램 리서치(-25%)와 도쿄 일렉트론(-22%), KLA(-8%)의 매출은 전년 대비 감소했다. 특히 ASML은 심자외선(DUV)과 극자외선(EUV) 장비 매출 호조에 힘입어 글로벌 1위를 기록했다. 지난해 파운드리 부문 매출은 게이트올어라운드(GAA·Gate All Around) 트랜지스터 아키텍처의 증가와 사물인터넷(IoT), 인공지능(AI), 클라우드, 자동차, 5G 등 여러 부문에 걸친 '성숙 공정'(Mature Node) 기기에 대한 투자 강화로 전년 대비 16% 증가했다. 메모리 부문의 매출은 전반적인 메모리 웨이퍼 팹
반도체 장비 회사인 KLA는 경기도 용인 서플러스 글로벌 반도체 장비 클러스터에 'LKS 트레이닝 센터'를 열었다고 31일 밝혔다. KLA가 세계에서 9번째로 문을 여는 트레이닝 센터다. 강의실, 클린룸, 핸들러룸 등 다양한 시설이 1천200㎡ 규모 공간에 조성된다. LKS 트레이닝 센터에서 KLA는 자사 엔지니어와 고객에게 기술 교육 및 학습 기회를 제공할 계획이다. 이곳에서 KLA 한국 엔지니어들은 KLA의 글로벌 LKS 팀이 제공하는 교육 가이드라인에 맞춘 교육을 받을 수 있다고 회사 측은 설명했다. 앞서 KLA는 수준 높은 제조 공정과 첨단 클린룸을 갖춘 평판 디스플레이 수율 향상 솔루션 전용 제조 시설을 지난 21일 천안에 개소했다. 롤린 코처 KLA 한국 지사장은 "트레이닝 센터 설립으로 KLA는 한국에 대한 전략적이고 지속적인 투자 의지를 다시 한번 입증했다"며 "전문 인력을 육성하고 고객사와 협업을 강화해 한국에서 지원을 더 강화할 수 있을 것"이라고 말했다. 헬로티 김진희 기자 |
침체하는 반도체 시장, 타개책 마련은 어떻게? 반도체 생태계 구성원이 한자리에 모이는 반도체 박람회 ‘세미콘 코리아 2023’이 지난 2월 1일 서울 코엑스에서 열렸다. 국제반도체장비재료협회(SEMI) 주최로 사흘간 열린 행사에는 삼성전자, SK하이닉스 등 칩메이커부터 소부장 기업까지 반도체 공급망의 450여개 기업이 참여해 최신 기술을 선보였다. 이와 함께 세계 반도체 전문가 120여명이 20여개 컨퍼런스 연사로 참여해 최신 반도체 제조 기술과 시장 전망을 공유했다. SEMI는 올해 세계 반도체 시장이 지난해 대비 7%가량 역성장할 것으로 전망했다. 이나 스크보르초바 SEMI 연구원은 코엑스에서 열린 세미콘 코리아 2023 기자간담회에서 “여러 경제 악재와 지정학 이슈 지속으로 반도체 업계도 불황을 겪을 것으로 보인다”고 전망했다. 이어 그는 “올해 세계 반도체 매출은 5500억 달러로 작년보다 7% 정도 감소할 것”이라며, “반도체 업계는 주기성을 타서 설비와 용량이 늘면 재고가 증가해 다시 하락세를 보인다. 지금 시장 방향성을 보면 성장세가 저조해지며 냉각기에 접어드는 시기로 보인다”고 진단했다. ASML 코리아, 성과 달성 힘입어 파격 임금 인상 추진
헬로티 임근난 기자 | 공정 제어 솔루션 전문기업 KLA는 신임 한국 지사장으로 롤린 코처를 선임했다고 밝혔다. 롤린 코처 지사장은 앞으로 KLA의 한국 내 사업 확장 및 대고객 영업 및 지원 확대, 그리고 ESG 강화에 주력할 계획이다. 공식 취임은 10월 말로 예정돼 있다. 신임 롤린 코처 지사장은 반도체 장비 업계에서 30년 이상 근무하며 기술, 영업, 사업 개발, 운영 등 다양한 업무 영역에서 풍부한 경험과 성과를 쌓아온 전문가이다. 전체 경력의 절반이 넘는 17년 동안 KLA에서 근무하며 애플리케이션 엔지니어, 어카운트 매니저, 사업개발 디렉터, 세일즈 담당 수석 디렉터를 역임했다. 특히 마지막 2년 동안은 KLA 한국 삼성 비즈니스를 총괄하며 매출 성장과 사업 확장에 기여한 바 있다. 이번 KLA 한국 지사장 선임 전까지, 그는 미국의 반도체 검사 장비 및 솔루션 전문기업인 온투 이노베이션(Onto Innovation)의 글로벌 운영 담당 수석 부사장으로 재직했으며, 그 전에는 나노메트릭스의 수석 부사장으로서 영업, 애플리케이션, 사업부를 총괄했다. 코처 지사장은 “한국은 전 세계 반도체 업계를 선도하는 유수의 기업들을 보유한 국가로서, KLA 비
[헬로티] KLA는 PWG5 웨이퍼 기하 구조 계측 시스템과 Surfscan SP7XP 웨이퍼 결함 검사 시스템 2가지 신제품을 발표했다. ▲KLA PWG5 and Surfscan SP7XP 분자 초고층 건물처럼 더 높이 적층돼 성능이 가장 뛰어난 플래시 메모리는 3D NAND로 불리는 아키텍처로 만들어진다. 지속적으로 공간 효율성과 경제적인 비용을 추구하는 상황에서 이미 적용된 적층 96단 메모리칩은 물론, 더 높은 128단 이상의 3D NAND 개발될 전망이다. 이 복잡한 구조를 제조하기 위해서는 다양한 재료의 수백 개 박막을 증착한 후, 수 마이크론 깊이와 100분의 1 마이크론 너비의 구멍을 깎고 새기며 메모리 셀을 생성해야 한다. 박막 적층이 더 높아지면 웨이퍼의 응력을 유발해 웨이퍼 표면 평탄도가 변형되는 문제가 생긴다. 이렇게 뒤틀린 웨이퍼는 후속 공정의 균일성과 패터닝 무결성에 영향을 주기에 최종 소자의 성능과 수율에 영향을 미치게 된다. 이번 PWG5 계측 시스템은 고해상도로 웨이퍼 기하 구조의 미세한 변형을 측정해 패턴 웨이퍼 변형을 식별하고 수정할 수 있다. 지젠 바자에파람빌(Jijen Vazhaeparambil) KLA Surfscan과
[헬로티] KLA코퍼레이션은 eSL10 전자빔 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템(e-beam patterned-wafer defect inspection system)을 개발했다고 발표했다. 이 새로운 시스템은 기존의 광학 장비 또는 다른 전자빔 결함 검사 플랫폼으로는 검출할 수 없는 결함을 검출하고 보고함으로써 극자외선 (EUV) 리소그래피 공정으로 제조되는 반도체 칩을 비롯한 고성능 로직과 메모리 반도체 칩의 출시 시기를 앞당기도록 설계된 제품이다. 오랜 시간 동안의 연구 개발의 성과가 반영된 다양한 혁신적 기술을 도입하여 처음부터 끝까지 새롭게 설계된 eSL10은 시중의 다른 전자빔 시스템과 비견될 수 없는 고해상도 고속 검사 역량을 제공한다. KLA e-beam 부문의 아미르 아조르데간(Amir Azordegan) 총괄 매니저는 “단일 고전류밀도 전자빔을 사용하는 eSL10 시스템은 전자빔 검사 능력을 새로운 수준으로 끌어올렸다”며 “지금까지 기존 전자빔 검사 시스템은 높은 감도와 빠른 속도 중 하나만 제공했으며, 이는 시스템의 실제 응용을 크게 제한했다. 우리는 전자빔 아키텍처와 알고리즘에 완전히 새로운 방식으로 접근함으
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