6인치·8인치 웨이퍼 모두 호환 지원...싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템 포트폴리오 확장 ASM이 새로운 듀얼 챔버 플랫폼인 'PE2O8 실리콘 카바이드 에피택시 시스템(PE2O8 Silicon Carbide Epitaxy System 이하 PE2O8 시스템)'을 공식 출시했다. 전기차, 친환경 에너지, 데이터센터 등 고전력, 고효율 기술을 요하는 산업 시장이 세계적으로 부상하며 실리콘 카바이드(SiC) 반도체가 필수적인 요소로 자리 잡은 가운데, SiC 수요와 비용 절감 필요성이 증대돼 생산량을 늘릴 수 있는 8인치 SiC 기판으로 전환이 이뤄지고 있다. SiC 소자 제조 기업들은 SiC 에피택시 시스템의 이점을 활용하기 위한 고전력 소자를 설계하고 있다. 이러한 환경에 맞춰 새롭게 선보인 ASM의 PE2O8 시스템은 6인치와 8인치 웨이퍼 모두 호환 지원함으로써 기존 자사 싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템(6인치 PE1O6 및 8인치 PE1O8) 포트폴리오를 확장했다. 첨단 SiC 전력 반도체 소자 부문을 위해 설계된 PE2O8은 높은 공정 균일성과 생산성, 낮은 운영비용 및 정밀한 결함 관리가 특징인 대표적인 에피택시 시스템이다. 독자적인 설계 방
4개·6개 웨이퍼 배치 로드 포트, 최소 4개에서 최대 12개 프로세스 챔버로 구성돼 다양한 워크로드 대응 어플라이드 머티어리얼즈(이하 어플라이드)가 새로운 웨이퍼 생산 플랫폼 ‘비스타라(Vistara)’를 발표했다. 어플라이드 플랫폼 사상 지난 10여 년간 가장 중대한 혁신을 이룬 비스타라는 반도체 제조사에 유연성, 인텔리전스, 지속가능성을 제공해 증가하는 반도체 생산 문제 해결을 지원할 것으로 보인다. 전 세계 팹 대부분 반도체 생산에 엔듀라, 프로듀서, 센튜라, 센트리스 등을 포함한 어플라이드 반도체 생산 플랫폼이 사용됐다. 비스타라 플랫폼은 어플라이드의 오랜 리더십을 기반으로 한다. 비스타라는 어플라이드의 하드웨어, 소프트웨어, 공정 기술, 생태효율성 설계 팀 소속 엔지니어 수백 명이 4년 이상 개발한 끝에 완성됐다. 프라부 라자(Prabu Raja) 어플라이드 반도체 사업부 사장은 “이전 제품과 마찬가지로 비스타라는 고객 혁신, 신뢰성, 생산성 측면에서 오랜 기간 신뢰받는 플랫폼으로 자리잡기 위해 설계됐다”며 “반도체 제조의 복잡성, 비용, 케이던스, 탄소 배출 등 반도체 업계가 해결해야 할 문제가 늘고 있다. 비스타라는 문제 해결을 위한 고유 솔루
벤자민 로 CEO "이번 투자는 한국에 대한 우리의 약속이자 사업을 성장시키려는 포부" ASM이 24일 경기도 화성시에서 제2제조연구혁신센터의 기공식을 성공적으로 개최했다고 밝혔다. ASM은 지난 2월 산업통상자원부와 체결한 MOU 이행 방안으로 한국에서 기술 고도화와 지속적인 혁신을 위해 1억 달러를 투자할 계획이다. 기공식에는 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 김완기 산업통상자원부 무역투자실장, 양향자 국회의원, 김경희 화성시의회 의장, 신미숙 경기도의회 의원을 비롯해 요아나 도너바르트(Joanne Doornewaard) 주한 네덜란드 대사, 삼성전자, SK하이닉스, 코트라 인베스트코리아 관계자 등 150여명의 정재계 주요 인사들이 참석했다. ASM에서는 벤자민 로(Benjamin Loh) ASM CEO, 폴린 반더미어모(Pauline Van der Meer Mohr) ASM 이사회 의장, 김용길 ASM 한국지사 에이에스엠케이 회장이 함께 했다. 현재 ASM 화성 연구 개발·제조 센터는 약 2만m2 규모로, 이번 증축으로 3만1000m2 규모의 8층 건물이 새롭게 추가된다. 시설 확장에 따라 ASM 한국 내 직원 수도 점차 늘어날 전망이며, ASM 화
"첨단 반도체 수요 증가에 대응하기 위한 중요한 확장 전략의 출발점" ASM이 23일 조선 팰리스 서울 강남에서 국내 첫 기자간담회를 갖고 경기도 화성시에 제2제조연구혁신센터 확장 발표 및 지속적인 국내 투자 확대를 약속했다. ASM 기자간담회에는 벤자민 로(Benjamin Loh) ASM CEO와 한국지사인 에이에스엠케이의 김용길 회장이 참석했다. 벤자민 로 CEO는 ASM의 국내 사업 전략 및 계획, 국내 투자 현황을 설명하며, 한국의 중요성에 대해 거듭 강조했다. ASM은 1989년부터 한국에서 사업을 운영해온 글로벌 반도체 기업이다. 1995년 자회사인 에이에스엠케이㈜를 설립하고 한국을 ASM의 핵심 기술 개발 및 제조 지역으로 성장시켰다. 지난 6년 연속 두 자리 수 성장을 기록해온 ASM은 여러 국가에서 활동을 추진하고 있다. 특히 미국, 싱가포르, 한국은 R&D와 제품 개발 및 제조 영역에 있어 ASM의 비즈니스를 주도하는 국가로 꼽힌다. 우리나라는 ASM의 플라즈마원자층증착(PEALD) 사업의 글로벌 중심지이기도 하다. 이에 ASM은 지난 2월 산업통산자원부와 1억 달러 규모 투자 협약을 맺었으며, 오는 24일에는 경기도 화성에서 제2제
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