스케일
마그네스케일
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격자 간섭계 방식을 채용하여 31pm(인터폴레이터 사용 시)의 높은 분해능과 2.5mm의 큰 작동 거리에 더하여, 스테이지의 각도 변화를 허용하는 사용의 용이함이 특징이다. 검출 헤드는 XY 각 방향의 이동을 한 점에서 검출할 수 있기 때문에 아베 오차를 줄일 수 있고, 고정도 계측 위치결정이 가능해졌다. 신호파장은 250nm이다.