애리조나주 스코츠데일의 21에이커 부지에 실험실과 클린룸 등 건설할 예정 ASM이 자사 최대 연구·개발(R&D)시설이 있는 애리조나에 3억 유로(약 4200억 원)를 추가 투자한다고 5일(현지시간) 로이터통신 등이 보도했다. ASM의 벤자민 로 최고경영자(CEO)는 로이터통신과 인터뷰에서 ASM이 현재 진출해 있으며 반도체 제조 허브로서 애리조나주의 중요성이 커지고 있어 이같이 결정했다고 말했다. 그는 "인텔과 TSMC는 모두 우리의 큰 고객 중 하나며 이들과 R&D를 위해 협력한다는 것은 전체 반도체 산업과 공급망에 도움이 될 것"이라고 강조했다. 인텔과 TSMC는 현재 애리조나주에 생산시설을 건설 중이다. 1976년부터 애리조나주 피닉스에 미국 본사를 두고 있는 ASM은 2026년까지 애리조나주 스코츠데일의 21에이커(약 8만5000㎡) 부지에 실험실과 클린룸 등을 건설하고 500명을 추가로 고용할 계획이다. ASM의 현지 직원은 현재 800명이다. ASM은 반도체 제조공정 중 증착공정에 활용되는 장비를 주로 생산하는 기업으로, 이 공정은 반도체가 갈수록 복잡해지면서 중요성이 커지고 있다. 네덜란드 노광장비 기업인 ASML의 모태가 된 기업
ALD 공정에 기여하는 밸브 제어 시스템 생산량을 극대화해야 하는 과제와 함께 최신 마이크로칩 생산에 필요한 공정은 점점 복잡해지고 정밀해지고 있습니다. 그렇기에 반도체 생산업체들은 보다 면밀한 공정 제어를 추구합니다. 반도체 생산 수율을 최적화하려면 원자층 증착(ALD)과 같은 생산 공정에서 성능 오차가 더 미세해야 합니다. 즉, 최적 생산성의 ALD 공정에는 정밀한 화학물질 투여 및 공급 시스템이 필수적입니다. 잘 설계된 밸브 제어 시스템이 이 공정에 기여할 수 있습니다. 반도체 석학들이 마주하고 극복했던 중요한 수수께끼가 기술의 지속적인 혁신에 전환점이 되었던 그 이유를 파헤쳐보겠습니다. 반도체 산업의 간략한 역사 반도체 산업은 1960년대 실리콘 밸리에서 시작됐습니다. 1990년대 후반에 이르러 과학계는 반도체 칩 하나당 트랜지스터 수가 2년마다 두 배가 될 것이라고 예측한 무어의 법칙이 곧 한계에 부딪힐 것으로 예상했습니다. 이는 소자에 사용되는 기존 유전체 층의 기술적 한계와 관련이 있으며, 업계는 SiO2를 대체할 유전체 재질이 곧 필요하게 될 것임을 알았습니다. 하지만 이미 SiO2는 증식이 편리하고 실리콘 웨이퍼상에서 탁월한 정밀도와 균일도를
반도체 원자층증착(ALD) 장비 세계 1위 업체인 네덜란드 ASM이 한국에 1억달러(약 1200억원)의 대규모 투자를 검토한다. 이창양 산업통상자원부 장관은 2일 벤자민 로 ASM 대표와 한국에 제2공장을 신설하고, 연구·개발(R&D)센터를 증설하는 투자를 검토한다는 내용의 양해각서(MOU)를 체결했다. ASM은 2025년까지 1억달러 규모의 투자 이행 여부를 올해 안에 결정할 계획이다. 산업부는 성공적인 투자 결정과 이행을 위해 인센티브 협의, 애로 사항 해소 등을 적극적으로 지원하기로 했다. ASM은 반도체 제조공정 중 증착공정(웨이퍼가 전기적 특성을 갖도록 다양한 물질의 박막을 입히는 과정)에 활용되는 장비를 주로 생산하는 기업이다. 네덜란드 노광장비 기업인 ASML의 모태가 된 기업으로, 원자층증착장비(ALD·웨이퍼에 원자 단위 깊이의 산화막을 증착하는 장비) 관련 세계 1위 매출 규모와 기술력을 갖추고 있다. 산업부는 지난해 10월 무역투자실장의 ASM 네덜란드 본사 방문 이후 투자 논의가 진전되며 투자 금액과 고용 규모 등이 대폭 확대됐다고 설명했다. 투자가 최종 성사되면 첨단기술의 국내 이전과 안정적인 반도체 공급망 확보, 수출 확대 등에
스웨즈락 코리아(이하 스웨즈락)이 세미콘 코리아 2022에 참가해 ALD 밸브 시리즈와 온도 안정성을 위한 단열 호스 및 안전성을 고려한 반도체 공정 맞춤형 솔루션을 공개했다. 위 솔루션들은 스웨즈락 부스에서 직접 확인할 수 있었다. 반도체 산업은 스웨즈락의 주요 비즈니스다. 20년 이상 세미콘에 참가해온 스웨즈락은 반도체 공정 효율을 높이기 위한 솔루션을 지속해서 발표해왔다. 이번 세미콘에서 공개된 초고순도 ALD20 밸브는 높은 수준의 정밀성과 청정도 및 긴 수명 주기를 제공한다. 특허 출원 중인 ALD20 설계는 기존의 표준 ALD 밸브 기술로 달성하는 유량 계수의 2~3배를 공급하고, 최소 10℃(50℉)에서 최대 200℃(392℉) 사이의 가스 박스 내부에 안정적으로 설치할 수 있어 열 안정성과 증착 균일성을 높인다. 스웨즈락 관계자는 “ALD 밸브 시리즈는 반도체 증착 공정에 특화해 개발한 밸브다. 최초의 ALD 밸브라고 할 만큼, 오랫동안 이를 활용하는 기업에 신뢰성 높은 결과물을 제공해왔다”고 밝혔다. 이어 그는 “재작년에 출시된 ALD20 밸브는 유체량은 늘리고 정확도는 높여 생산성 향상에 기여한다”고 덧붙였다. 세미콘에서 선보이는 주목받은
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UPDATE: 2024년 04월 28일 21시 25분
