ALD 공정에 기여하는 밸브 제어 시스템 생산량을 극대화해야 하는 과제와 함께 최신 마이크로칩 생산에 필요한 공정은 점점 복잡해지고 정밀해지고 있습니다. 그렇기에 반도체 생산업체들은 보다 면밀한 공정 제어를 추구합니다. 반도체 생산 수율을 최적화하려면 원자층 증착(ALD)과 같은 생산 공정에서 성능 오차가 더 미세해야 합니다. 즉, 최적 생산성의 ALD 공정에는 정밀한 화학물질 투여 및 공급 시스템이 필수적입니다. 잘 설계된 밸브 제어 시스템이 이 공정에 기여할 수 있습니다. 반도체 석학들이 마주하고 극복했던 중요한 수수께끼가 기술의 지속적인 혁신에 전환점이 되었던 그 이유를 파헤쳐보겠습니다. 반도체 산업의 간략한 역사 반도체 산업은 1960년대 실리콘 밸리에서 시작됐습니다. 1990년대 후반에 이르러 과학계는 반도체 칩 하나당 트랜지스터 수가 2년마다 두 배가 될 것이라고 예측한 무어의 법칙이 곧 한계에 부딪힐 것으로 예상했습니다. 이는 소자에 사용되는 기존 유전체 층의 기술적 한계와 관련이 있으며, 업계는 SiO2를 대체할 유전체 재질이 곧 필요하게 될 것임을 알았습니다. 하지만 이미 SiO2는 증식이 편리하고 실리콘 웨이퍼상에서 탁월한 정밀도와 균일도를
스웨즈락이 반도체 칩 수율을 높이는 데 필요한 일관성과 긴 사용 수명을 갖춘 스웨즈락 ALD7 초고순도(UHP, Ultrahigh-purity) 다이어프램 밸브를 출시했다고 29일 밝혔다. 스웨즈락의 현재 최상위 제품 라인인 ALD6 밸브와 비교할 때, ALD7은 더 뛰어난 유량 흐름 일관성, 유동 용량, 액츄에이터 개폐 속도를 제공한다. 스웨즈락은 ALD7이 칩 제조업체가 현재 생산 공정의 한계를 극복하고 수요에 대응하는 데 필요한 고온 환경에서도 우수한 성능을 발휘한다고 설명했다. 유량이 향상된(최대 0.7 Cv) ALD7 밸브는 기존 밸브와 같은 38.1mm의 공간에 설치할 수 있기 때문에, 새로운 장비나 기존 장비에 문제없이 적용될 수 있다. 이는 첨단 기술의 원동력이 되는 반도체 칩의 수요가 전 세계적으로 증가하는데 대해 유연하게 대응할 수 있다는 것을 의미한다. ALD7 밸브는 이전 세대 ALD6보다 더 빠르고 일관적인 밸브 개폐를 바탕으로 수천만 회 이상의 ALD(원자층 증착) 생산 사이클에서 정밀한 투여량을 제공한다. 액츄에이터의 개폐 응답 시간은 5ms(밀리초) 미만이며, 액츄에이터는 150°C(302°F) 환경에서 사용 가능하며 밸브 몸체는
스웨즈락이 국내 고객을 대상으로 폭넓은 유체 시스템 전문 지식과 기술 자원 제공을 위해 웹사이트 내 한국어 서비스를 출시했다. 스웨즈락의 국내 공인 판매 및 서비스 센터 스웨즈락 코리아는 국내 고객에게 유체 시스템에 관한 종합적인 첨단 정보를 제공하기 위해 스웨즈락 글로벌 웹사이트의 한국어 버전을 출시했다고 23일 밝혔다. 국내 유일의 유체 시스템 검색 엔진이라는 차별성을 지닌 신규 웹사이트는 관련 전문 지식을 제공한다. 한국어 서비스 출시는 스웨즈락이 고객을 지원하기 위해 진행해온 지속적 투자의 일환이다. 고객들은 글로벌 웹사이트 한국어 버전을 이용해 피팅, 밸브, 레귤레이터, 호스 및 플렉시블 튜빙을 비롯한 스웨즈락 유체 시스템 제품에 대해 알아볼 수 있다. 또한 화학, 오일 및 가스, 반도체, 청정에너지 등 스웨즈락의 주력 산업군에 맞게 분류된 제품 및 서비스 지침이 제공된다. 특히, 고객 편의를 고려해 각 산업별 페이지 하단에 배치한 '리소스 센터' 섹션을 통해 이용자들은 각자 목표 달성에 도움이 될 만한 양질의 최신 어드바이스를 찾을 수 있는 페이지로 이동할 수 있다. 이번 서비스 향상으로 100만 개 이상의 스웨즈락 CAD (computer-aid
한국가스안전공사 인증...가동 시간 극대화와 오작동 최소화 통해 일관되고 안정적인 성능 제공 스웨즈락의 국내 공인 판매 및 서비스 센터 스웨즈락 코리아는 자사의 전기 기화식 레귤레이터인 KEV 시리즈 레귤레이터가 한국가스안전공사 KCs 방폭 인증을 받았다고 발표했다. 이번 인증은 국내 업계 최초라는 점에 그 의의가 있다. KEV 시리즈 레귤레이터는 이미 ATEX, IECEx, CSA 등 국제 인증을 수차례 받아, 위험 환경에서의 안전성을 검증받았다. KEV 시리즈 레귤레이터는 전기를 이용해 액체 샘플을 기화하거나 가스 샘플을 예열하여 응축을 방지할 수 있다. KEV 시리즈 레귤레이터는 열효율 극대화를 위해 공정 유체와 직접 접촉하는 발열체가 특징이며 온도 조절 범위가 23°C~193°C로, 스팀 가열식 기화 레귤레이터에 비해 높은 편의성을 제공한다. 온도 센서가 내장되어 있어 잘못 설정된 온도를 바로잡아 과열, 퓨즈 트립으로 인한 추가 유지보수를 방지한다. 특히 이 온도 센서는 설비 운영자가 입력값을 변경하면서 발생할 수 있는 과열로 인한 셧다운을 방지해 시스템 효율성을 극대화하고 막대한 비용을 초래하는 다운타임은 최소화해준다. KEV 시리즈 레귤레이터의 전
스웨즈락 코리아(이하 스웨즈락)이 세미콘 코리아 2022에 참가해 ALD 밸브 시리즈와 온도 안정성을 위한 단열 호스 및 안전성을 고려한 반도체 공정 맞춤형 솔루션을 공개했다. 위 솔루션들은 스웨즈락 부스에서 직접 확인할 수 있었다. 반도체 산업은 스웨즈락의 주요 비즈니스다. 20년 이상 세미콘에 참가해온 스웨즈락은 반도체 공정 효율을 높이기 위한 솔루션을 지속해서 발표해왔다. 이번 세미콘에서 공개된 초고순도 ALD20 밸브는 높은 수준의 정밀성과 청정도 및 긴 수명 주기를 제공한다. 특허 출원 중인 ALD20 설계는 기존의 표준 ALD 밸브 기술로 달성하는 유량 계수의 2~3배를 공급하고, 최소 10℃(50℉)에서 최대 200℃(392℉) 사이의 가스 박스 내부에 안정적으로 설치할 수 있어 열 안정성과 증착 균일성을 높인다. 스웨즈락 관계자는 “ALD 밸브 시리즈는 반도체 증착 공정에 특화해 개발한 밸브다. 최초의 ALD 밸브라고 할 만큼, 오랫동안 이를 활용하는 기업에 신뢰성 높은 결과물을 제공해왔다”고 밝혔다. 이어 그는 “재작년에 출시된 ALD20 밸브는 유체량은 늘리고 정확도는 높여 생산성 향상에 기여한다”고 덧붙였다. 세미콘에서 선보이는 주목받은
스웨즈락 코리아가 2월 9일(수)부터 11일(금)까지 서울 코엑스에서 개최되는 반도체 산업 전시회 세미콘 코리아 2022에 참가한다고 밝혔다. 스웨즈락 코리아는 지속적으로 변화하는 고객 니즈에 맞춰 고성능의 스웨즈락 ALD 밸브 시리즈와 온도 안정성을 위한 단열 호스 및 안전성을 고려한 맞춤형 솔루션을 이번 전시에서 소개할 예정이다. 스웨즈락은 50년 이상 전 세계 반도체 칩 및 장비 제조업체의 방향에 발맞춘 기술 리더십과 고품질 유체 시스템 솔루션에 대한 빠른 대응, 일관된 고객 경험을 제공하고 있다. 그 결과, 다양한 글로벌 반도체 칩 제조업체와 장비 OEM 제조사는 유체 시스템 관련 문제를 해결하고 산업군에서 경쟁 우위를 유지하기 위해 스웨즈락과 협력하고 있다. 올해 세미콘 코리아에서 선보일 스웨즈락의 초고순도 ALD20 밸브는 매우 높은 수준의 정밀성과 청정도 및 긴 수명 주기를 제공한다. 특허 출원 중인 ALD20 설계는 기존의 표준 ALD 밸브 기술로 달성하는 유량 계수의 2~3배를 공급하고, 최소 10°C(50°F)에서 최대 200ºC(392ºF) 사이의 가스 박스 내부에 안정적으로 설치할 수 있어 열 안정성과 증착 균일성을 높인다. 또 다른 중
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UPDATE: 2024년 04월 28일 21시 25분
