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센서시스템기술 - UHP 압력 트랜스미터

  • 등록 2012.04.13 23:48:05
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UHP 압력 트랜스미터

센서시스템기술 TEL : 031-310-8911 www.sensys.co.kr



반도체장비용 Ultra High Purity(UHP) 압력 트랜스미터는 압력 접촉 부가 스테인리스 316L(VIM+VAR) 재질로 만들어졌으며, 최대 표면조 도 Ra10으로 EP처리되어 있다. 또한 VCR 피팅부와 압력 셀을 용접 하여 리크의 우려가 없는 구조로 설계되어 반도체 제조에 필요한 가 스 및 유체의 압력 측정에 적합하다. 특징으로는 CE 인증, 정밀도 0.25%FS, 2선식 4~20mA 출력, 고성능 디지털 신호처리회로 내장, 고안정형 압력 셀 구조라는 점이 있다. 주로 반도체 장비나 밸브, 매 니폴드 박스, 가스 패널, 가스 캐비닛에 사용된다.









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