파미의 SPI 검사기인 SIGMA X는 RSC 7 탑재로 RSC 6 대비 검사 속도가 25-30% 증가했고, 기판 이송 시퀀스 최적화로 감속 및 정지 시퀀스 최적화, 로딩/언로딩 타임을 단축했다. 기판 휨과 실시간 Z축을 제어할 수 있어 10mm(2%)까지 측정정확도를 보장하며, 기판 전체영역을 스캔함으로 정확한 휨 불량 판정을 할 수 있다.
또한 리얼 3D 이미지로 노이즈 없는 정확한 3차원 영상을 제공한다.
파미 ☎ (042)478-9900
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