계측 시스템

2015.04.29 16:44:08




KLA-Tencor의 첨단 계측 시스템(ArcherTM 500LCM과 SpectraFilmTM LD10)은 16nm 이하 IC의 개발과 생산을 지원한다. Archer 500LCM 오버레이 계측 시스템은 생산 과정 전 단계에 정확한 오버레이 오류 피드백을 제공, 최신 패터닝 기법 적용 시 발생하는 오버레이 문제 해결에 도움을 준다. SpectraFilm LD10 필름 계측 시스템은 고신뢰성과 정밀한 필름 두께, 스트레스 계측을 통해 다양한 필름 및 필름 스택 검증과 모니터링을 지원한다.



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