[SF+AW 2022 PREVIEW] 엠엠티, 1㎛ 제어 가능한 초정밀 스테이지 선보인다

2022.03.21 18:01:33

이동재 기자 eltred@hellot.net

 

엠엠티가 오는 4월 6일부터 8일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘스마트공장·자동화산업전 2022(Smart Factory+Automation World 2022, 이하 SF+AW 2022)’에 참가한다.

 

엠엠티는 이번 SF+AW 2022에서 스마트 스테이지와 드라이버 컨트롤러 제품을 전시할 예정이다.

 

엠엠티가 이번 전시회에서 전시할 예정인 스마트 스테이지는 단순 스테이지 공급에서 벗어나, 간편한 제어까지 한 번에 가능하도록 업그레이드한 올인원 시스템이다. UVW(XYθ축) 스테이지와 Q센서(3D 엔코더), 일체형 드라이버 컨트롤러의 결합으로 기존 UVW스테이지 대비 높은 사양 수준, 작은 사이즈, 간편한 제어를 가능하게 한다.

 

 

함께 전시될 10축 광학 얼라인 스테이지는 최근 광학 Alignment 스테이지에 대한 지속적 문의를 받으면서 관련 맞춤형 제품으로서 개발됐다. 정확하고 미세한 반복 구동 기능을 보여줄 뿐만 아니라, 사이즈를 축소, 컴팩트한 디자인으로 만들어졌다. 정밀하게 움직이는 동시에 Alignment가 가능한 모습을 확인할 수 있다.

 

엠엠티는 2000년 Micro Motion Technology라는 사명으로 출발해 매뉴얼 스테이지와 모터라이즈 스테이지에 이르기까지 다양한 초정밀 스테이지를 개발, 국내외 유수의 장비사에 공급하고 있다. 축적된 기술력과 철저한 품질관리 및 사후관리 시스템, 끊임없는 연구개발로 글로벌 강소기업으로 평가받고 있다.

 

Align 시장의 새로운 요구에 부응하기 위해 세계 최초로 Absolute 3D (X/Y/Θ)Encoder를 개발해 다양한 스테이지에 적용 중이며, X/Y=50nm, Θ=0.001°의 정밀도와 Calibration 및 UVW 각축보정으로 1㎛ 수준의 초정밀 제어가 가능하다. 또 컴팩트한 크기의 동시 4축제어기(Micro Step Driver)를 개발해 Micro, Sensor, Control 및 S/W의 통합시스템으로 최적의 솔루션을 제공하고 있다.

 

한편, 스마트팩토리·오토메이션월드 2022(Smart Factory+AutomationWorld 2022)는 4월 6일부터 8일까지 코엑스1층과 3층 전관을 사용하는 국내 최대 스마트팩토리, 자동화 산업 전시회로, 스마트공장엑스포(SmartFactory Expo), 국제공장자동화전(aimex), 한국머신비전산업전(Korea Vision Show)의 세부 전시회로 구성돼 있다.

 

(주)첨단, (사)한국산업지능화협회, (사)한국머신비전산업협회, 코엑스가 주최하는 ‘스마트팩토리+오토메이션월드 2022’는 국내외 350여개 기업이 참여해 차별화된 기술, 제품, 솔루션을 전시한다. 특히, 산업단지특별관, 스마트팩토리 모델공장 특별관이 참관객들을 맞이하며, 글로벌 스마트공장 컨퍼런스 등 17개 컨퍼런스 200개 세션의 전문 컨퍼런스가 개최된다.

 

헬로티 이동재 기자 |

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