[첨단 헬로티]

웨이퍼 제조 장비 및 서비스를 공급하는 램리서치(Lam Research)는 반도체 공정에서 자사의 식각 공정 플랫폼으로 협력을 맺은 반도체 제조사가 1년 간 생산 중단 없이 장비를 가동한 것으로 확인했다고 29일 밝혔다.

이 같은 발표는 1년 전 램리서치가 고객사와 함께 유지보수를 위한 세정 작업을 실시할 필요 없이 365일 동안 가동한다는 야심찬 목표를 세웠고, 올해 4월 그 목표를 달성했다는 것이라고 램리서치는 설명했다.

반도체 공정 환경에서 세정을 위한 가동 중단 시간은 식각 시스템의 생산성을 제한하는 가장 주요한 요소이다. 식각 공정 모듈은 안정적인 성능을 유지하고 플라즈마 공정 과정에서 부식된 부품을 교체하기 위해 일반적으로 월 혹은 주 단위로 세정된다.

램리서치 부사장이자 식각 제품군 사업부장 바히드 바헤디(Vahid Vahedi)는 “이 같은0 결과는 램리서치가 고객사들과 협업해 가장 어려운 기술과 생산성 문제를 해결하기 위해 전념하고 있다는 사실을 보여주고 있다”고 말했다.

이어, “램리서치는 반도체 제조사들이 더 빠르고, 정확하고, 쉽게 생산성을 높일 수 있도록 4차 산업혁명 기술을 구현하는 데 전념하고 있습니다. 이번 사례를 통해 입증됐듯이 자가 유지보수 장비를 통해 인적 개입을 줄이면서 효율을 높일 수 있다”고 덧붙였다. 

식각 공정 모듈은 주기적인 유지보수와 소모품 교체가 필요하다. 따라서 챔버를 열어, 부품을 교체, 세정한 이후 챔버의 적격성을 다시 평가해야 하기 때문에 시간과 인력이 소모된다. 이는 공정의 처리량에 영향을 주기 때문에 일정 조정이 수반된다.

램리서치는 이러한 상황에서의 시간과 인력 소모를 절감하기 위해 자가 유지보수 솔루션을 사용하면 장비가 부품 교체 시점을 인식해 챔버를 열지 않고 자동으로 부품을 교체할 수 있어서 장비 가동 정지 시간이 줄일 수 있다고 전했다.