스웨즈락, 세미콘서 ALD 밸브 및 유체 시스템 솔루션 공개

2022.02.07 09:33:49

서재창 기자 eled@hellot.net

 

스웨즈락 코리아가 2월 9일(수)부터 11일(금)까지 서울 코엑스에서 개최되는 반도체 산업 전시회 세미콘 코리아 2022에 참가한다고 밝혔다. 

 

스웨즈락 코리아는 지속적으로 변화하는 고객 니즈에 맞춰 고성능의 스웨즈락 ALD 밸브 시리즈와 온도 안정성을 위한 단열 호스 및 안전성을 고려한 맞춤형 솔루션을 이번 전시에서 소개할 예정이다. 

 

스웨즈락은 50년 이상 전 세계 반도체 칩 및 장비 제조업체의 방향에 발맞춘 기술 리더십과 고품질 유체 시스템 솔루션에 대한 빠른 대응, 일관된 고객 경험을 제공하고 있다. 그 결과, 다양한 글로벌 반도체 칩 제조업체와 장비 OEM 제조사는 유체 시스템 관련 문제를 해결하고 산업군에서 경쟁 우위를 유지하기 위해 스웨즈락과 협력하고 있다. 

 


올해 세미콘 코리아에서 선보일 스웨즈락의 초고순도 ALD20 밸브는 매우 높은 수준의 정밀성과 청정도 및 긴 수명 주기를 제공한다. 특허 출원 중인 ALD20 설계는 기존의 표준 ALD 밸브 기술로 달성하는 유량 계수의 2~3배를 공급하고, 최소 10°C(50°F)에서 최대 200ºC(392ºF) 사이의 가스 박스 내부에 안정적으로 설치할 수 있어 열 안정성과 증착 균일성을 높인다. 


또 다른 중요 스웨즈락 제품으로는 적절한 단열 특성으로 공정 안정성을 확보하는 단열 호스다. 스웨즈락 단열 호스는 호스 내부의 유체를 적정 온도로 유지해 결로 및 연관 문제를 예방할 수 있다. 


영상과 샘플을 통해 스웨즈락 코리아의 광명 본사 내 클래스 100 클린룸을 비롯, 고도로 숙련된 경험을 갖춘 맞춤형 솔루션 팀이 어떻게 고성능, 고품질 어셈블리를 제작하는지 살펴볼 수 있다. 

 

또한, 고객의 현장에 필드 엔지니어를 투입해 호스의 수명과 성능 향상을 위한 호스 선정과 설비, 점검 및 유지 보수 절차를 점검하고 개선책을 제공하는 스웨즈락 호스 자문 서비스가 소개될 예정이다. 

 

이재영 스웨즈락 코리아 대표 이사는 “국내 반도체 업계에 스웨즈락의 반도체 역량을 선보일 수 있게 돼 기쁘다. 스웨즈락은 소중한 고객을 적극 지원하기 위해 40년 가까이 제품과 서비스를 강화시켜 왔다”며 “당사 제품과 솔루션이 고객이 처한 문제를 해결하고 실적 및 생산성을 향상하는 데 도움이 되리라 확신한다”고 덧붙였다. 

 

헬로티 서재창 기자 |

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