반도체 기반 전자 산업은 다양한 제품을 만들기 위해 안정적인 고품질 마이크로칩을 사용해야 한다. 때문에 반도체 칩 제조 공정은 일관적이어야 하고 결함이 없어야 한다. 반도체 제조업체는 최고의 생산 표준을 유지하기 위해 자외선(UV) 카메라가 탑재된 검사 시스템을 비롯해 다양한 품질 관리 도구를 사용하고 있다. 

 

UV 이미지 센서가 탑재된 카메라는 표면에서 UV 파장이 확산 반사되는 점을 활용한다. UV 이미지는 다른 검사 방법에서 놓칠 수 있는 미세한 표면 결함과 불일치를 감지할 수 있는 시각적 정보를 제공한다. 

 

본 JAI 백서에서는 반도체 산업의 다양한 검사 애플리케이션에 따른 UV 카메라 기술 활용법을 소개한다. 뿐만 아니라 반도체 산업 애플리케이션을 위한 UV 카메라 선정 시 고려해야 할 주요 요소에 대해 살펴본다. 

 

 

헬로티 함수미 기자 |